进口代理RCH Associates水汽发生器,102B-25,102B-50,RCH® Steamer ‘02 系列蒸汽发生器

RCH® Steamer ‘02 系列 蒸汽发生器——集成单元，实现精确蒸汽流量生成与输送

**流量：**可达 50 SLPM

RCH Steamer 将清洁蒸汽发生器与**蒸汽净化组件（SPA, Steam Purifier Assembly）**整合为单一系统。液体路径中所有接触水的组件均为石英或特氟龙®（Teflon®），净化蒸汽路径的组件为石英及特氟龙®接头和阀门。与其他蒸汽技术相比，RCH Steamer 可显著提高氧化物生长速率、腔体均匀性、薄膜质量，并可降低运行成本。

测试显示，可将 67 种金属 降至检测限以下，一些污染物甚至低于 0.0005 ppb。尿素、氮气及 CO₂ 也可被去除。由于 RCH Steamer 可在低压水蒸气下工作，因此可用石英及氟聚合物管道替代不锈钢输送系统。

RCH Steamer 的两大主要组件

• RCH Steamer —— 蒸汽发生器，将去离子水（DI Water）转化为高流量、超高纯度（UHP）水蒸气。

• RCH SPA（蒸汽净化组件） —— 通过选择性去除溶解气体、金属和颗粒，将清洁蒸汽净化为超高纯度蒸汽（UHP Steam），去除污染物至检测以下水平。

RCH Steamer 的优势

RCH Steamer 是唯一可从去离子水提供可控超纯蒸汽输送的系统，其优势包括：

• 纯度 —— 专利申请技术可去除挥发物、离子污染物及其他杂质，蒸汽纯度可与或优于由氧气和氢气燃烧产生的热解蒸汽。

• 良率 —— 非多孔膜可排除金属、烃类及颗粒，确保输出最纯蒸汽。

• 产能 —— 可连续无人值守 24/7 运行。通过消除可能减缓生长速率的载气（如氢气、氧气），氧化生长速率可提升 高达 10%。与火焰喷射炉相比，即使流量增加，也不会产生热积累。

• 安全性 —— 消除氧化过程中的 H₂ 和 O₂，避免可燃和爆炸性材料。运行温度显著降低（低于 125°C，而非火焰炉的 500°C 以上）。

• 拥有成本 —— 消除昂贵的氢气和氧气使用及储存成本，低运行成本快速回报，无需冷却系统。

• 多功能性 —— 可处理广泛的流量和压力范围。

工作原理

• 加热器将去离子水转化为蒸汽。

• RCH SPA 内的非多孔亲水膜对蒸汽进行净化，选择性允许水蒸气通过。该膜对氮分子的选择性高达 1,000,000 倍。在蒸汽相中，膜仅允许水分子通过，其他分子受到严格限制，因此水中的污染物（溶解气体、离子、TOC、尿素、颗粒、病毒、细菌、焦炭、金属等）可在蒸汽相中去除。

• 流量通过实时监测并自动调节上下游压力进行控制，流量的增加或减少由加热器功率调节实现。

• 水位持续监控并调节，以确保蒸汽连续输出。

产品规格（Product Specifications）

• 水蒸气流量可达 50 SLPM

• 自动液位/注水控制

• 可真空至 1200 Torr（0–23 psia）

• 手动和自动操作

• PLC 控制

• 远程及本地控制

• 二次温控回路

• 上下游压力感应

• 专利申请中的蒸汽流量控制

• 排放/排水功能

• 集成净化器（Integrated Purifier）