ramé-hart Model 400 系列—— 接触角测角仪领域的全球领先者

ramé-hart Model 400型仪器在拉梅-哈特仪器公司钴-60产品线中占据独特地位:这是唯一专为特定行业——半导体制造商——量身打造并优化设计的机型。

当今芯片制造商正从事着技术含量最高、最具挑战性的生产任务。加工工艺要求采用日益复杂精密的方法与监测系统,以检测污染物并减少分子污染(MC)导致的释气现象,这类污染会降低良品率并削减利润。

拉梅-哈特在通过接触角帮助芯片制造商检测MC超标方面处于领先地位。具体方法是将去离子水滴沉积于标准洁净室生产条件下氧化的硅晶圆上,若接触角高于特定设定值,则表明存在有机冷凝物超标。

经过严格控制的特殊清洗流程后,需再次通过接触角检测确保晶圆无污染。我们的400型仪器正是为此应用于菲律宾首个万级洁净室。

虽然400型专为芯片制造商优化,但其配备的大型旋转圆形样品台也适用于其他应用场景。随机附赠的DROPimage Pro软件除测量接触角外,还能测算表面能(采用七种不同方法)以及表面/界面张力。

该机型支持灵活定制:自动点液系统是热门选配项,特别推荐用于每日需进行大量测试且重视结果重现性的质控环境。晶圆载台可升级至10英寸、12英寸甚至13.625英寸规格,也可降级为6英寸或4英寸配置。另有6英寸和8英寸两种真空吸盘可供选择。

带晶圆支架的400型测角仪/张力仪专为半导体行业设计。该模型包括标准的3轴水平试样阶段,以及21英寸长的工作台。该系统还包括一个8“(200mm)直径的旋转晶圆支撑,可以升级到10”或12“或13.625”,甚至配备6“或4”支撑。6“和8”直径真空卡盘也可作为一种选择。此外,可以根据客户需求构建自定义支持选项。400型包括DROPimage Pro软件,能够测量接触角,表面能,表面张力和界面张力。该仪器船与PC和LCD完成。自动点胶系统是最受欢迎的升级选项。一个经济实惠的解决方案,建立在久经考验的ram -hart设计,使400型测角仪/张力仪受欢迎的工业,特别是芯片制造商或任何实验室使用晶圆或类似尺寸的基板。DROPimage Pro软件测量接触角,包括一套表面能工具,包括:酸碱工具、表面能工具、粘附功工具、Zisman绘图工具、固体-液体-液体表面能工具和一液SE工具。它们也是一种表面张力工具,用于测量液体的表面张力和界面张力。该软件可以升级到DROPimage Advanced,而不需要任何额外的硬件。手动倾斜基础选项也可以添加用于测量前进和后退角度,确定滚转角度,并计算接触角滞后。自动倾斜基础选项需要软件升级到DROPimage Advanced。自动点胶系统完全支持与软件升级或没有。


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