PPB级氧气分析仪
PureAire的十亿分之一(ppb)级氧气分析仪,非常适合需要持续监测半导体设备、3D打印机、手套箱、氮气管线和真空腔体的设施,以及氧气含量极低或几乎无氧的场所。该设备的传感器可直接通过KF型真空接头安装到工艺腔室内。本分析仪非常适用于半导体设备、OLED制造商、3D打印,以及任何在真空环境下使用惰性气体(包括但不限于氮气、氦气和氩气)的工业应用。PureAire采用稳定、长寿命的氧化锆传感器,在得到维护的环境中可持续使用多年,无需更换。
10-10,000 PPB / 0.01-10.00 PPM氧气传感器
精度:校准范围的 ± 200 PPB
KF25 法兰连接器
可在 20 托或更低的真空环境中运行
泄漏率 <1E-9(或 1X10^-9)毫巴/秒
低维护氧化锆传感器
3 年质保
2 个警报继电器
不因环境或温度变化而产生漂移
附赠 24V 直流电源(型号 99201)
附赠国际通用电源(型号 99216)
PureAire 的十亿分之一(ppb)级氧气分析仪非常适用于氧气含量极低或无氧的环境,包括半导体设备、晶圆传输设备、工艺腔室、低温手套箱、氮气管线、3D 打印机和制氮机。
该 PPB 痕量氧分析仪配备一根 10 英尺电缆和一个寿命超过 10 年的氧化锆传感器,传感器可置于工艺腔室或真空腔室内以获取精确读数。若需从外部监测读数,可使用 10 英尺电缆或 KF25 法兰连接传感器,随后查看读数并根据需要调节环境。
产品特点
PureAire 的 PPB痕量氧分析仪可用于室内或室外环境。无论湿度、大气压或温度如何变化,该氧气分析仪都能可靠运行,为您的业务提供保障。即使在高电磁场环境中,该分析仪也能提供稳定、精确的读数。
PureAire PPB痕量氧分析仪采用氧化锆传感器,而非电化学传感器,从而提高了可靠性并延长了使用寿命。氧化锆传感器使用寿命可达 10 年以上。它能对氧气水平的变化在数秒内做出响应,并触发内置的声光警报,通知工作人员氧气含量过低。
通过 KF 型真空接头,您可以将传感器直接安装到真空腔室或负载锁内。通过监测真空内部的氧气水平,该氧气分析仪提高了生产吞吐量,因为它无需使用环境空气作为测量氧气水平的介质。
与需要定期校准才能达到规格的一次性传感器不同,PPB 痕量氧分析仪节省了时间和成本。传感器在三年内即可收回成本。通过安装此氧气分析仪而非其他产品,客户平均每年可节省 475 美元。
| Sampling Method | Diffusion Oxygen Analyzer (Supplied with KF-25 Fitting) |
| Gases Detected | Oxygen (O2) |
| Range | 10-10,000 PPB / 0.01-10.00 PPM Oxygen |
| Accuracy | ± 200 PPB of calibrated range |
| Operating Temperature | -40º to 140ºF (-40º to 60ºC) |
| Display | 3/4″ LCD Digital Display, Back Lit, 3 Alarms LED´s |
| Sensor Type | Zirconium oxide |
| Sensor Life | 10 years under normal operating conditions |
| Signal Outputs | 4-20 mA Analog Output (Active) Dual-Level Alarm Relay Contacts Please contact PureAire for the available RS-485 option |
| Power Requirements | 24 VDC 250 mA |
| Width | 5.0 in 127 mm |
| Height | 5.5 in 140 mm |
| Depth> | 3.25 in 83 mm |
| Weight | 2.1 lb 0.9 kg |
| Enclosure | Polycarbonate |
| Calibration | Calibration is not required. Periodic span adjustment as needed. |

