PureAire Monitoring Systems PPB 十亿分之一 微量氧分析仪
产品概述
PureAire 的 PPB（十亿分之一）氧分析仪适用于需要持续监测半导体设备、3D 打印机、手套箱、氮气管道和真空腔体等几乎无氧环境的场所。传感器可通过 KF 型真空接口直接安装在工艺腔体中。该分析仪适用于半导体设备、OLED 制造、3D 打印以及任何在真空环境中使用惰性气体（包括但不限于氮气、氦气和氩气）的工业应用。PureAire 稳定、长寿命的氧化锆传感器可在维护良好的环境中使用多年，无需更换。
功能说明
PPB 微量氧分析仪适用于几乎无氧的环境，包括半导体设备、晶圆传输装置、工艺腔体、低温手套箱、氮气管道、3D 打印机和氮气发生器。
分析仪配有 10 英尺长电缆和寿命超过 10 年的氧化锆传感器，可放置在工艺腔或真空腔中进行精确测量。用户可通过 10 英尺电缆或 KF25 法兰接口在外部监测并调节环境。
该分析仪可用于室内或室外，不受湿度、气压或温度变化影响，确保测量稳定可靠。即使在强电磁场环境中，也能提供精确读数。
PureAire PPB 微量氧分析仪采用氧化锆传感单元而非电化学传感器，提高了可靠性和使用寿命。传感器可使用 10 年以上，并在数秒内对氧气浓度变化做出响应，同时触发内置声光报警通知工作人员。
KF 型真空接口允许传感器直接安装在真空腔或装载锁中，从而提高测量效率，无需利用外部环境介质。
与需定期校准的一次性传感器相比，PPB 微量氧分析仪节约时间和成本，一般三年即可收回投资，每年平均可节省约 几百美金。
技术参数
- 采样方式：扩散式氧气分析仪（含 KF25 接头）
- 检测气体：氧气 (O₂)
- 测量范围：10–10,000 PPB / 0.01–10.00 PPM
- 精度：校准量程 ±200 PPB
- 工作温度：-40 至 +140°F（-40 至 +60°C）
- 显示：¾ 英寸背光 LCD 数字显示屏，带三色报警指示灯
- 传感器类型：氧化锆
- 传感器寿命：正常条件下使用寿命 10 年
- 信号输出：4–20mA 模拟输出（主动式），双级报警继电器；可选 RS-485 接口（需联系 PureAire）
- 电源要求：24VDC，250mA
- 尺寸：宽 5.0 英寸（127 mm），高 5.5 英寸（140 mm），深 3.25 英寸（83 mm）
- 重量：2.1 磅（0.9 kg）
- 外壳材质：聚碳酸酯
- 校准：无需校准，如有需要，可进行跨度调整
- 原产国：美国
