产品概述
以下已停产产品仅对此前已购买的客户提供替换和支持服务：
本产品体现了idonus在瑞士微技术领域的专业积累，覆盖MEMS微加工、检测和键合等核心技术领域。当标准产品无法满足需求时，idonus工程团队可提供从概念到制造的定制化解决方案。
应用领域
UV传感器
UV-LED光通量测量和光强度监控，用于光刻工艺的剂量控制。
工艺间隙测量
UV-Sens-Gap传感器用于测量掩模与晶圆之间的间隙距离。
定制解决方案
idonus工程团队针对特殊需求提供定制化设备设计和制造服务。
技术原理
idonus的其他产品包括UV传感器、间隙测量设备和定制化解决方案。这些产品延伸了idonus在微技术领域的专业能力，为客户的特殊需求提供精准的技术方案。
UV-Sens-Gap利用光学方法精确测量掩模版与晶圆之间的间隙距离，为接近式曝光工艺提供关键参数。UV传感器则用于实时监测UV-LED光源的辐照度，确保曝光剂量的精确控制。
当标准产品无法满足需求时，idonus的工程团队可提供定制化设计服务——从概念验证到小批量制造，这正是idonus 'creative engineering & manufacturing' 理念的体现。
技术规格
| 太阳能电池探针台 | 含配套卡盘 |
| 多芯片真空卡盘 | （早期版本） |
| PTFE/PVDF 晶圆槽 | 耐腐蚀材料 |
产品优势
定制化能力
当其他厂商拒绝时，idonus能提供方案——这是idonus的核心价值主张。
工程服务
从设计到制造的全流程工程服务，支持从原型到小批量生产。
瑞士精密品质
瑞士微技术传统确保每一台设备的精度和可靠性。
技术深度
覆盖MEMS微加工全链条的技术能力，提供综合性解决方案。
适用场景与选型建议
- 特定微加工需求✓ 本产品针对特定工艺需求进行了专项设计
- 定制化需求→ idonus工程团队可提供定制解决方案
