1-4 轴 MBE 机械手
1-4 轴电动 MBE 机械手专为超高真空条件下的 MBE 应用而设计。加热通过电阻或 EB 方法进行。纵器可以在垂直方向上工作。
它是一款采用模块化结构的高精度、高刚性 UHV 试样机械手，适用于一系列 R1 电动连续基板旋转和 Z 轴平移
描述
准备将基板加热至 1400°C（EB 加热，UHV 条件），精度为 +/- 1°C。 该工作站包括基板（标配最大 6 英寸样品架）定位器，允许基板相对于线性快门的精确角度位置。
▪ 样品架： 一般为 板型
▪ 为达到高温
▪而准备 基准压力： 10-11毫巴
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF 至 DN 300CF（取决于样品量，其他可根据要求提供） |
| 极限压力范围 | 10-11毫巴 |
| 快门 | 集成或外部、气动或手动 |
| 加热方法 | 电阻式， EB |
| 基板温度 | 最高 1200 °C （电阻） 最高 1400 °C （EB） |
| 冷却方式 | 在2、 H20 |
| Z 范围 | 50 mm （可根据要求提供其他） |
| 位置控制 | 手轮/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 500 μm / 标准 10 μm |
| R1 范围 | 360° 连续 |
| 位置控制 | 机动* |
| XY 范围（可选） | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| 最大速度 | 高达 60 rpm |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C / 200 °C（根据要求） |
* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
机械手可以根据要求为客户的电机或驱动器准备。
加热器材料
| 石墨 | 柔韧（形式稳定），高温下释气最小，500°C 以下抗氧化 |
| 石墨 + PBN 涂层 | 柔韧（形式稳定），高温下释气最小，800°C 以下抗氧化（取决于氧分压） |
| 石墨 + SiC 涂层 | 坚硬、轻便、形态稳定，1400°C 以下抗氧化 |
| 碳化硅固体 （β） | 极硬、轻便且形式稳定、热膨胀低、耐机械和电冲击、优异的反应气体/抗氧化性 |
选项
▪ H2O 型护罩
▪ LN2或 H2O 冷却
▪侧或集成楔形快门（可能带 H2O 冷却选项）
▪ XY 运动舞台
▪快门开/关
