XY 载物台
精密、高刚性的 UHV 试样平移器，具有 X 和 Y 运动。
标准安装法兰为 DN 160CF。还提供 DN 100CF 安装法兰版本。载物台可以在任何方向工作。XY 载物台的设计易于使用和方便。X 和 Y 机芯的厚度± 25.0 毫米，具体取决于安装的附件。它们还可用于重新定位腔室端口，其轴平行于所需方向，但略微偏离所需方向。在最后一种用途中，它有时被称为 XY 调节器，是其他设备的非常经济的替代品。
技术数据
| 基座法兰 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 移动法兰 | DN 63CF 或 DN 100CF |
| 最大自由直径 | 102 毫米 |
| X、Y 范围 | ± 12.5 毫米或± 25 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺 / 步进电机（可选） |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
最大 XY 范围
| 基座法兰 | 移动法兰 | 直径 B [毫米] | X，Y 范围 [mm] 实际行程 （圆） | X，Y 范围 [mm] 实际行程（平方） |
| 公称通径 100CF | DN 63CF 系列 | 直径 38 | ± 25 | ± 17.5 |
| 公称通径 100CF | 公称通径 100CF | 直径 62 | ± 12.5 | ± 9 |
| DN 160CF 系列 | DN 63CF 系列 | 直径 38 | ± 25 | ± 17.5 |
| DN 160CF 系列 | 公称通径 100CF | 直径 75 | ± 25 | ± 17.5 |
XY 载物台 DN 160/100CF 系列（示例）
| （ØA-ØB）/2 = 实际笔触（圆） | 直径 B [毫米] | ||
| 直径 50 | 直径 80 | 直径 100 | |
| DN 160/100CF XY ± 12.5 mm 安装法兰孔径 ØA=125 mm | ± 12.5 | ± 12.5 | ± 12.5 |
| DN 160/100CF XY ± 25.0 mm 安装法兰孔径 ØA=125 mm | ± 25 | ± 22.5 | ± 12.5 |
| DN 160/100CF XY ± 25.0 mm 安装法兰孔径 ØA=152 mm | ± 25 | ± 25 | ± 25 |
