R2/R3 倾斜模块（与 XY 平台组合）
提供相对于 ± 3° 范围内的正交方向（X 或 Y 轴）之一的短倾角。
建议与 XY 载物台集成（通过通用波纹管）以获得最佳运动范围。模块的几何形状是定制的，以保持围绕焦点的旋转半径和其他客户要求。R2/R3 旋转可以是电动的或手动的。
技术数据
| 基座法兰 | DN 160CF 系列 |
| 移动法兰 | DN 100CF、DN 63CF |
| R3 范围 | ± 3° |
| R3 运动控制 | 手轮 / 步进电机 （可选） |
| 分辨率（手动/电动） | 0.1° / 0.01° |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
应用
R2/R3 倾斜模块的设计得益于大旋转半径，可实现最佳角度分辨率。
此外，刚性设计允许将重负载连接到末端执行器。这种解决方案的另一个优点是真空侧没有机械部件。可以通过更改所选模块的排列（R2 倾斜、R3 倾斜、R1 旋转、XY 载物台、Z 滑块）来扩展功能。
