4-6 轴 LHe 机械手（闭式循环）
带氦低温恒温器的机械手是一种多功能的闭式循环系统，适用于许多 UHV 表面科学研究。
它可以配置Z滑块、XY平台或差动泵浦旋转馈入装置。模块化结构意味着可以通过添加或更换定义明确的模块来升级或修改规格。该系统通常包括压缩机、高压软管、膨胀器、温度控制器、加热器和传感器。
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 压力范围 | 1 bar 至 10-11毫巴 |
| 加热方法 | 电阻式， EB， 直接 |
| 冷却方式 | LHe |
| XY 范围 | ± 12.5 毫米* |
| 位置控制 | 千分尺/电动** |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范围 | 最大 300 毫米 |
| 位置控制 | 手轮/电动** |
| 分辨率（手动/电动） | 50 μm / 标准 10 μm（可根据要求提供 1 μm） |
| R1 范围 | ± 180° |
| 位置控制 | 旋转馈入装置/电动** |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| R2 范围 | 360° 连续 |
| 位置控制 | 机动** |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| R3 范围 | – 20° 至 +40° |
| 位置控制 | 旋转馈入装置/电动** |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
* 用于底座法兰 DN 160CF
** 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
机械手可以根据要求为客户的电机或驱动器做好准备。
选项
- 全机动化
- 完全软件控制
- 氦气回收系统
- 可以安装角度设备进行 PES 校准
- 用于硅样品直接加热的附加电触点
- 低振动低温恒温器
- 温度稳定
- 加热选项：直接加热、电阻加热或 EB 加热
加热/冷却
样品温度取决于样品架类型：
- EB 加热 – 最高 1000 °C（第二阶段），
- 用 10 A 直接加热，
- 电阻加热（根据要求），
- 液氦冷却：
– 低于 10 K*（5 轴机械手）
* 在没有稳定和加热选项的情况下实现的参数
