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钛升华泵

钛升华泵（TSP）是真正的 UHV 泵。该泵的主要优点是简单、便宜，并且可以产生高抽速。TSP 由 3 根可拆卸的发夹形细丝组成。它们由钛和钼合金制成，安装在一个简单的载体中，旨在具有低电阻。

来自外部电源的大电流通过灯丝，使其发出炽热的光。在此温度下，钛直接从细丝中升华，然后蒸发剂覆盖在腔室的附近壁上。