M1600-PDC 磁控管电源
M1600-PDC 是紧凑型开关模式直流脉冲电源，设计用于驱动多达 3 个磁控管源。
所有可调参数都显示在带触摸屏的大型 TFT 显示屏上。所有设置均可手动调整，也可在设备开启后自动存储和调用。该装置还具有内置计时器和自动待机模式。它完全互锁，以确保用户和设备的安全。设备可以通过可用的模拟或数字接口之一进行远程控制。
特征
- Pule DC 或标准 DC 模式
- 用于 3 个带快门控制的磁控管源的开关
- 每个输出的电压、电流和功率分别可调
- 多个 I/O – 单独可编程
- 厚度和蒸发速率测量（支持厚度监测仪 TM13 /14）
- 真空测量（支持主动真空计）
- 质量流量控制器支持
技术数据
- 电源电压 100 – 240 V，50-60 Hz
- 输出电压高达 1200 V（最低 250 V）
- 输出电流高达 3000 mA（从 1 mA）
- 输出功率高达 1600 W*（从 1 W 起）
- 磁控管的开关模式 3 输出
- 模拟输入/输出 5 （0 – 10V）/ 5 （0 – 10V）
- 数字输入和输出单独可编程
- 定时器 双模式定时器 0 s – 99 h 59 min.
- 真空测量 1 通道，用于主动式真空计：CTR90、TTR90、TTR91、TTR211、PTR225、PTR90、ITR90、ITR100、Baratron、ANALOG IN、MKS937A、PG105、MG13/14、PKR251/360/361、PCR280、ATMION
- 厚度和蒸发速率测量 1 通道，用于厚度监测仪 TM13 /14
- 质量流量控制器 1 通道
- 通信接口 RS232/485、以太网
- 通信协议 MODBUS-TCP/RTU
- 用户界面 5 英寸 TFT 显示屏，带触摸屏、数字编码器
- 界面语言 简体中文
- 尺寸 485,6 x 87 x 450（宽×高×深），
- 重量（约）11 kg
- 脉冲频率：10-350 kHz
- 脉冲关闭时间：0.4μs-10μs
*当市电电压低于 150V 时，功率限制为 1000W
