1-4 轴溅射机械手
1-4 轴电动溅射机械手设计用于 HV 和 UHV 条件下的溅射沉积应用，以及反应溅射。加热采用电阻法进行。纵器可以在垂直方向上工作。
它是一款模块化结构的高刚性 UHV 试样机械手，具有电动连续基板 R1 旋转和 Z 轴平移（另外可配备 XY 移动模块）
描述
准备将基板加热到 1000°C，精度为 +/- 1°C。 该工作站包括基板（标配最大 6 英寸样品架）定位器，允许基板相对于线性快门的精确角度位置。
加热器材料根据客户的要求和沉积过程的具体条件（例如加热温度、反应气体的存在）进行最佳调整。示例加热器：热同轴电缆、涂有 SiC 的石墨、SiC 固体 （β）。
▪ 样品架：板式，PTS
▪ 基本压力：10-10mbar （工作压力： ~10-2mbar )
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF、DN 160CF、DN 200CF 或 DN 250CF |
| 极限压力范围 | 10-10毫巴 |
| 快门 | 集成或外部、气动或手动 |
| 加热方法 | 加热方式 电阻式、直接式 |
| 基板温度 | 最高 1000 °C |
| 冷却方式 | H20 |
| Z 范围 | 50 mm （可根据要求提供其他） |
| 位置控制 | 手轮/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 500 μm / 标准 10 μm（可根据要求提供 1 μm） |
| R1 范围 | 360° 连续 |
| 位置控制 | 机动* |
| XY 范围（可选） | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| 最大速度 | 高达 60 rpm（可根据要求提供其他） |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
机械手可以根据要求为客户的电机或驱动器准备。
选项
▪ H2O 冷却罩
▪侧面或集成楔形快门
▪ XY 运动平台
▪ BIAS， DC， RF
