PREVAC程序升温脱附/热脱附谱系统:独立式超高真空单元，专用于超薄薄膜吸附/脱附过程的精确测量，具备宽温区内高精度温度控制能力。
PREVAC程序升温脱附/热脱附谱系统系统特性
本底真空度：1×10⁻⁹ mbar
TPD/TDS腔室配备快速PTS样品托装载系统
特殊设计的锥形采样末端组件
宽温区高精度温度控制（-170°C至1200°C）
计算机控制的TDS数据采集与处理软件
可容纳两个PTS样品托的进样腔
可靠高效的线性传输系统（进样腔至TPD腔室）
PREVAC程序升温脱附/热脱附谱系统可提供的升级选项包括：
增加运动轴数并实现操纵器全电机化控制
扩展压力范围（从超高真空至1个大气压），配备可编程逻辑控制器进行精密压力调控
气体定量注入系统（手动型或PLC精密控制型）
溶剂定量加注系统
适用于腐蚀性环境的专用样品托
进样腔的加热与液氮冷却功能选项
专用样品制备腔室
扩展质量数范围的残余气体分析仪
