PREVAC UHV-HP AFM System UHV-HP原子力显微镜分析系统
UHV-HP AFM平台是用于在宽压力范围内工作的原子力显微镜的独特分析系统。它专注于高度灵活的样品环境，专用于气固界面的前沿研究。该系统配备了快速进入的负载锁定和准备室。
- AFM腔室-由不锈钢制成，带有用于当前和其他设备的不同尺寸的连接法兰。工作压力范围为1 atm至UHV（在150ºC烘烤后），
- 用于AFM模块的特殊滑轨，以方便检修显微镜，
- 加载锁定室允许加载和存储多达4个标志式样品架和4个悬臂（针尖），
- 带四轴机械手的两级准备室（集成石英天平，加热可能性高达1000°C），
- 配备电子束蒸发器EBV 40A1和离子源IS 40C1的制备室，用于样品表面清洁，
- 特殊设计的抽气系统–真空泵和涡轮分子泵的隔振，
- 沉积速率测量系统TMC13和样品加热电源HEAT3-PS，用于控制和稳定样品的温度，
- 整个抽气和加气系统均由PLC控制器控制，
- 用户友好的线性传输系统。
