PREVAC Thickness monitors TM13 & TM14 厚度监测仪
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TM13 和 TM14 设备包括：石英振荡器、频率测量系统和通信接口。
它与石英谐振器的输入元件相连。测量结果通过 RS232 传输到主设备：可以是电脑，也可以是 TMC13 控制器。可通过 TMC13 控制器或电脑进行远程控制。配备有专门用于精确速率测量的软件。能记录石英谐振器频率随时间的变化（以图表形式呈现）。允许用户根据选定的时间间隔计算蒸发速率。适用于例如分子束外延（MBE）等应用。
TM13
・频率分辨率：0.1 赫兹
・每秒测量次数：4 次（固定）
・石英振荡器的最大频率：6 兆赫兹
・稳定性：0.5 ppm
TM14
・频率分辨率：0.01 赫兹
・每秒测量次数：0.5、1、2、4、10 次（可选择）
・石英振荡器的最大频率：6 兆赫兹
・稳定性：0.5 ppm
| Power supply | 5V DC | |
| Current consumption | max 500 mA | |
| TM13 | TM14 | |
| Thickness resolution | 0.1 Å | 0.01 Å |
| Rate resolution | 0.1 Å/s | 0.01 Å/s |
| Frequency resolution | 0.1 Hz | 0.01 Hz |
| Frequency stability | 0.5 ppm | 0.5 ppm |
| Number of measurements per second | 4 | 0.5; 1; 2; 4; 10 (selectable) |
| Communication Interface | RS232 | |
| Dimensions [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 mm (W x H x D) | |
| Weight (approx.) | 0.1 kg | |
