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离子源 IS 40E1—— 双透镜、聚焦、提取器型离子枪。适用于深度剖析（氩气），可使用反应性气体（如氧气、氢气、碳氢化合物）以及所有惰性气体进行操作。在推荐的工作距离下，该离子源能够对表面 10 毫米 ×10 毫米的区域进行光栅扫描。它特别适用于 XPS、ISS 和 SIMS 中的深度剖析，也可用于样品表面清洁。
| Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
| Gases | Ar and reactive gases (O2, H2 hydrocarbons with reduced lifetime) |
| Energy range | 0.15 keV – 5 keV |
| Scan area | 10 mm x 10 mm (for working distance of 23 mm) |
| Current density | up to 4 mA / cm2 (for distance 23 mm) |
| Beam current | > 1 μA (for distance 23 mm) |
| Cathode type | yttrium oxide coated iridium filament |
| Small cone angle | 50° |
| Insertion length | 163 mm (standard), OD: 34 mm |
| FWHM | dependent on working distance (e.g. < 150 μm for distance 23 mm) |
| Typical working distance | 23 – 120 mm |
| Bakeout temperature | 250 °C |
| Working pressure | 10-8 mbar (with max beam current) |
・特殊配置的鼻锥
・可在惰性气体（氩气）和反应性气体（氧气、氢气、使用寿命缩短的碳氢化合物）环境下运行
・光斑尺寸可连续调节
・凹坑 / 电子束轮廓极其均匀
・可在原位更换灯丝
・超高真空气体入口
・真空室保持超高真空状态
・集成扫描和偏转单元
