PREVAC Ion source IS 40C1 离子源 样品表面清洁离子源
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紧凑型、易于使用的提取器类型，用于样品表面清洁。该源能产生大于 70 微安 / 平方厘米（氩气）的离子电流，具有高斯光束轮廓。源的插入长度可根据个人需求调整（62.5 毫米至 384.5 毫米之间，其他长度可按需定制）。
| Mounting flange | DN 40CF (non-rotatable) |
| Energy range | 0.12 keV – 5 keV |
| Current density | > 120 μA/cm2 (for distance 30 mm) |
| Shield | Cu, stainless steel (for reactive gases) |
| Cathode type | yttrium oxide coated iridium filament |
| Insertion length | min. 62.5 mm, other on request OD: max. 37 mm |
| FWHM | dependent on ion energy and working distance (e.g. 3 mm for distance 30 mm) |
| Typical working distance | 30 – 250 mm |
| Bakeout temperature | up to 250°C |
| Working pressure | 10-5 – 10-6 mbar |
・使用惰性气体（氩气）和反应性气体（氧气、氢气、寿命缩短的碳氢化合物）的操作
・长寿命
・高稳定性
