PREVAC Electron source ES 40C1 电子源
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具有小光斑轮廓的可扫描电子源。凭借其单透镜的高透射率，ES 40C 能在较宽的能量范围内提供高电子束电流。ES 40C1 设计用于在例如俄歇电子能谱（AES）、扫描应用、成像、电子能量损失谱（EELS）等领域实现稳定且可靠的运行。
| Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
| Energy range | 0 – 5 keV |
| Sample current | up to 100 μA |
| Scan area | 10 mm x 10 mm |
| Shield | Cu or μ-metal |
| Cathode type | thoriated tungsten |
| Insertion length | min. 155.7 mm, (other on request) OD: 33.5 mm (μ-metal), 35 mm (Cu) |
| FWHM | dependent on working distance, min. 120 µm (for distance 56 mm) |
| Working distance | 23 mm – 150 mm (typical 75 mm) |
| Bakeout temperature | up to 250 °C |
| Working pressure | < 5×10-6 mbar |
・精细聚焦微成型尖端阴极
・具有小光斑轮廓的可扫描电子源
・入射电子束角度校正（由 ES40-PS 电源提供）
・集成扫描和偏转单元
