PREVAC 高压光电子能谱系统用于在压力范围2×10^-9 mbar至50 mbar内进行光电子能谱实验，具有可控样品温度。PREVAC 高压光电子能谱系统适用于在超高真空（UHV）或环境压力条件下对广泛的纳米材料进行分析。
PREVAC 高压光电子能谱系统包括一个分析腔室和一个负载锁腔室，以便于快速、便捷地加载样品。系统提供完整的PLC保护和软件控制，包括对机器状态的清晰可视化、数据采集以及对所有集成设备、电源和辅助设备的控制。
PREVAC 高压光电子能谱系统分析腔室配备了符合超高真空（UHV）标准的连接法兰，可用于连接当前和未来的设备，包括：
高压半球形能量分析仪及其设备
高压X射线双阳极单色源及其电源
高压X射线双阳极非单色源及其电源
带电源的紫外单色光源
带电源的紫外光源
带电源的泛射源
带电源的电子源
带电源的离子源，用于深度剖析或清洁
带电源的气体簇离子源
温度范围广的样品操控器（从液氦/液氮到1400˚C）
抽气装置（基于备份泵、涡轮分子泵、离子泵和带大面积液氮冷罩的钛升华泵）
配备设备的真空计
用于线性传输系统的入口端口，例如从负载锁到分析腔室
用于样品夹持器的负载锁腔室
观察窗口
残余气体分析仪
最终设计和功能取决于系统配置。泵系统是不同类型泵的组合，例如前级泵、离子泵、涡轮分子泵或带大面积液氮冷罩的钛升华泵，根据具体应用需求单独选择，以实现最佳泵送性能。
如有需要，系统的模块化设计允许通过径向分布传输解决方案或传输通道与任何其他研究平台进行组合和集成。Spectrium分析控制软件允许半球形能量分析仪与各种类型的光源完美集成与协作，支持轻松编写操作流程、自动测量控制和广泛的数据记录。该软件还允许基于Tango开源设备集成新的附加组件。
PREVAC 高压光电子能谱系统适用于以下领域的大多数研究需求的标准解决方案：
XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS 技术 | 超高真空（UHV）条件
HPXPS / APXPS / APUPS 技术 | 环境压力条件
实验过程的全自动化
回填配置
高压半球形能量分析仪 EA15-HP5 / EA15-HP50 及其设备
高压高功率双阳极X射线源，带单色器（AlKα 和 AgLα），带电源
高压高功率双阳极非单色X射线源（AlKα 和 MgKα），带电源
带电源的紫外光源
带电源的泛射源
用于深度剖析或清洁的离子源
电动或手动4-6轴操控器，接收站可实现从液氦/液氮到高达1400°C的温度
不同尺寸的样品夹持器：从10×10 mm到2英寸
分析腔室直径 Ø 310 mm
基本压力降至10^-9 mbar（取决于泵的配置）
抽气系统（基于备份泵、涡轮分子泵和钛升华泵，带冷冻罩）
全自动气体加注系统
配备设备的真空计
用于样品夹持器的负载锁腔室
从负载锁到分析腔室的可靠且快速的线性传输系统
观察窗口，配有摄像头
烘烤系统
可调节的系统刚性主框架
带电子单元的19英寸机柜
由Spectrium软件和PLC单元完全控制的分析过程和设备
