标准PLD系统 PREVAC 标准 PLD 系统包括一个沉积工艺室和一个负载锁定室，用于轻松快速地加载基板。 脉冲激光沉积 （PLD） 独立系统适用于异磁膜、陶瓷氧化物、高温超导材料、金属多层膜等的生长。 |
高级PLD系统 PREVAC 定制的 PLD 系统是复杂的 UHV 平台，可以作为更大的集成研究系统的一部分提供。 PLD 研究模块可以与一系列分析和沉积技术相结合，为表面科学和材料研究创建多功能设计。随附的技术列表包括 ARPES、IBS、磁控溅射和 MBE。
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iPLD系统 自主 iPLD 站用于纳米结构层的生产和实时监测。它提供了一个使用激光烧蚀的全自动应用材料的过程。使用该项目产生的工作站，除其他外，还可以创建多功能、保护和空间纳米层。 |
