PREVAC 脉冲激光沉积系统 PLD系统 沉积系统 表面科学和材料研究 ARPES、IBS、磁控溅射和 MBE 纳米结构层

标准PLD系统

PREVAC 标准 PLD 系统包括一个沉积工艺室和一个负载锁定室,用于轻松快速地加载基板。 

脉冲激光沉积 (PLD) 独立系统适用于异磁膜、陶瓷氧化物、高温超导材料、金属多层膜等的生长。 

高级PLD系统

PREVAC 定制的 PLD 系统是复杂的 UHV 平台,可以作为更大的集成研究系统的一部分提供。

PLD 研究模块可以与一系列分析和沉积技术相结合,为表面科学和材料研究创建多功能设计。随附的技术列表包括 ARPESIBS磁控溅射MBE

 

iPLD系统

自主 iPLD 站用于纳米结构层的生产和实时监测。它提供了一个使用激光烧蚀的全自动应用材料的过程。使用该项目产生的工作站,除其他外,还可以创建多功能、保护和空间纳米层。


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