PREVAC 脉冲激光沉积系统 PLD系统 沉积系统 表面科学和材料研究 ARPES、IBS、磁控溅射和 MBE 纳米结构层

标准PLD系统

PREVAC 标准 PLD 系统包括一个沉积工艺室和一个负载锁定室，用于轻松快速地加载基板。 

脉冲激光沉积 （PLD） 独立系统适用于异磁膜、陶瓷氧化物、高温超导材料、金属多层膜等的生长。 

高级PLD系统

PREVAC 定制的 PLD 系统是复杂的 UHV 平台，可以作为更大的集成研究系统的一部分提供。

PLD 研究模块可以与一系列分析和沉积技术相结合，为表面科学和材料研究创建多功能设计。随附的技术列表包括 ARPES、IBS、磁控溅射和 MBE。

iPLD系统

自主 iPLD 站用于纳米结构层的生产和实时监测。它提供了一个使用激光烧蚀的全自动应用材料的过程。使用该项目产生的工作站，除其他外，还可以创建多功能、保护和空间纳米层。