IS 40E1 离子源是一个双透镜提取器型聚焦差分泵离子枪。
源能够以推荐的工作距离对 10 mm x 10 mm 的表面区域进行光栅化。它特别适用于 XPS、ISS 和 SIMS 中的深度剖析。该离子源还可用于样品表面清洁。
特征
- 特殊配置的鼻锥
- 使用惰性 (Ar) 和反应性气体（O 2、H 2、寿命缩短的碳氢化合物）操作
- 连续可变的光斑尺寸
- 极其均匀的陨石坑/光束轮廓
- 内部可更换灯丝
- 特高压气体入口
- 室内保持 UHV 条件
- 集成扫描和偏转单元
- 入射电子束角度校正（IS40-PS电源提供）
选项
- 维恩质量过滤器
- 气体进样系统
- 线性位移：25、50、75、100 毫米
- 差动泵送（2 级）
技术数据
| 安装法兰 | DN 40CF（可旋转） |
| 气体 | Ar 和反应性气体（寿命缩短的O 2、H 2碳氢化合物） |
| 能量范围 | 0.15 keV – 5 keV |
| 扫描区域 | 10 毫米 x 10 毫米（工作距离为 23 毫米） |
| 当前密度 | 高达 4 mA / cm 2（距离 23 mm） |
| 束流 | > 1 μA（距离 23 mm） |
| 阴极类型 | 氧化钇涂层铱丝 |
| 小锥角 | 50° |
| 插入长度 | 163 毫米（标准） |
| 半高宽 | 取决于工作距离 （例如 < 150 μm 距离 23 mm） |
| 典型工作距离 | 23 – 120 毫米 |
| 烘烤温度 | 250℃ |
| 工作压力 | 10 -8 mbar（最大束流） |
