PREVAC 离子源 Ion Source IS 40C1
Ion Source IS 40C1 是一款紧凑、易于使用的提取器型离子枪，用于样品表面清洁。
该源产生>70 μA/cm 2 (氩)的离子电流，具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个人要求进行调整（62.5 毫米 – 384.5 毫米，其他应要求提供）。
特征
- 使用惰性 (Ar) 和反应性气体（O 2、H 2、寿命缩短的碳氢化合物）操作
- 高离子束电流
- 使用寿命长
- 高稳定性
选项
- 气体加样系统
- 定制插入长度
- 线性移位
技术数据
| 安装法兰 | DN 40CF（不可旋转） |
| 能量范围 | 0.12 keV – 5 keV |
| 当前密度 | > 120 μA/cm2（距离 30 mm） |
| 阴极类型 | 氧化钇涂层铱丝 |
| 插入长度 | 分钟 62.5 毫米，其他应要求提供 OD：最大。37 毫米 |
| 半高宽 | 取决于离子能量和工作距离 （例如，距离 30 mm 为 3 mm） |
| 典型工作距离 | 30 – 250 毫米 |
| 烘烤温度 | 高达 250°C |
| 工作压力 | 10 -5 – 10 -6毫巴 |
