PREVAC 真空系统 特高压分析系统 [项目 428] UHV analytical system [project 428] 2022年4月10日 1010 电话:15821107090PREVAC 特高压分析系统 [项目 428] UHV analytical system [project 428] 专用于正电子湮没和表面分析的分析 UHV 系统。传输系统:PTS 样品架。系统配置:– 基础压力范围为 10 -10 mbar 的分析室包括:5轴全电动机械手电子能量分析仪 XPS/UPS/ARPES用于 XPS 测量的单色 X 射线源具有用于 UPS 测量的专用泵系统的单色 UV 源。用于深度分析的离子源其他组件的额外自由端口– 带设备的离子辐照室– 加载锁定室允许加载 PTS 样品架– 用于在 UHV 压力下在腔室之间传输样品的线性传输– 配件:一套专用、多功能、多材料样品架所有电子单元的特殊机架特殊设计的烘烤系统工具包 AES ARPES EA15 EA15-HP50 IS 40C1 IS 40E1 ISS Kerr效应 MBE MBE Chamber PREVAC 离子源 TPD/TDS UVS 40A2 光电子能谱仪 光电子能谱测量仪 半球分析仪 半球能量分析仪 原子力显微镜 原子力显微镜分析 原子力显微镜分析系统 真空光谱仪 真空能量分析光谱