用于在 XPS/AES 和 SIMS 应用中对绝缘体或半导体进行电荷中和的低成本电子流枪。
泛光源在两个能量范围内运行,完全由软件控制,还可以提供定制的插入长度(145 – 421 毫米,其他应要求提供)和屏蔽材料,例如 mu 金属、铜。
特征
- 高电子束电流
- 可选择的能量范围
- 稳定排放
- 光束轮廓控制
选项
- 线性移位
- 定制插入长度
- 源屏蔽材料(μ-金属或铜)
产品规格
安装法兰 | DN 40CF(不可旋转) |
能量范围 | 0.01 – 500 eV |
采样电流 | 高达 100 μA |
阴极类型 | 钍钨 |
盾 | Cu或μ金属 |
插入长度 | 分钟 145 毫米(其他应要求提供),外径:33.6 毫米(微米金属),35 毫米(铜) |
半高宽 | 取决于工作距离(例如,距离 30 mm 为 10 mm) |
典型工作距离 | 20-100 毫米 |
烘烤温度 | 高达 250°C |
工作压力 | < 5 × 10 -6毫巴 |