PREVAC 电子流枪 FS 40A1 对绝缘体或半导体进行电荷中和

用于在 XPS/AES 和 SIMS 应用对绝缘体或半导体进行电荷中和的低成本电子流枪
泛光源在两个能量范围内运行,完全由软件控制,还可以提供定制的插入长度(145 – 421 毫米,其他应要求提供)和屏蔽材料,例如 mu 金属、铜。

特征

  • 高电子束电流
  • 可选择的能量范围
  • 稳定排放
  • 光束轮廓控制

选项

  • 线性移位
  • 定制插入长度
  • 源屏蔽材料(μ-金属或铜)

产品规格

安装法兰DN 40CF(不可旋转)
能量范围0.01 – 500 eV
采样电流高达 100 μA
阴极类型钍钨
Cu或μ金属
插入长度分钟 145 毫米(其他应要求提供),外径:33.6 毫米(微米金属),35 毫米(铜)
半高宽取决于工作距离(例如,距离 30 mm 为 10 mm)
典型工作距离20-100 毫米
烘烤温度高达 250°C
工作压力< 5 × 10 -6毫巴


Related posts