PREVAC 带有 MBE 室的超分辨率 ARPES 系统 Super resolution ARPES system with MBE chamber [project 523]
用于具有集成 MBE 室的超分辨率 ARPES 测量的多技术光发射 UHV 系统。
系统设置包括：
▪分析室：基础压力 10 -11毫巴范围，
▪ 超高分辨率光电子分析仪，带广角接受透镜。
▪ PREVAC RMC50单色 X 射线源
▪ 高分辨率和灵敏度 LEED–AES 光谱仪
▪ 5 轴机械手，带 LHe 冷却（开放循环）用于分析室
▪ MBE 室：基本压力范围 2×10 -10 mbar
▪ 15kV 静电聚焦 RHEED 电子-来源
▪ 带有 RES 加热至 1000 °C 和 LN 2 的4 轴机械手MBE 室的冷却
▪ 带负载锁的传输系统和用于 12 旗式样品架的存储室
▪ 附加设备：离子源IS 40C1、泛光源FS 40A1、积液池、电子束蒸发器EBV 40A1、石英天平QO 40A1等。
