PREVAC 原子力显微镜/扫描隧道显微镜系统
PREVAC 原子力显微镜/扫描隧道显微镜系统专为气-固界面前沿研究设计的独特分析系统，可在宽广压力范围内工作。PREVAC 原子力显微镜采用不锈钢材质，配备多种尺寸连接法兰，兼容现有及未来扩展设备。工作压力范围覆盖1个大气压至超高真空（经150°C烘烤后可达UHV条件）。
PREVAC 原子力显微镜/扫描隧道显微镜系统系统特性
工作压力范围覆盖超高真空至高压环境
用户友好型操作设计
样品温度可控范围：-173°C至800°C
兼容片状样品托与可更换式探针
配备专用样品及探针存储模块
特殊设计泵组系统（前级泵与涡轮分子泵采用振动隔离结构）
AFM模块配备专用滑轨，便于对显微镜进行维护操作
