波兰PREVAC,科学产品,沉积系统,离子束蚀刻系统

用于样品表面离子蚀刻的 UHV 系统，具有高度均匀性。推荐用于表征技术（例如 TEM）的样品制备。

特征

• 全电动 2 轴机械手，带快速作、自动快门和集成法拉第杯
• 机械手具有高效的水冷系统，可确保在此过程中保持所需的温度稳定性
• 多种板式样品架类型，最大尺寸为 6 英寸
• 适用于无网格/网格、RF/DC 离子源
• 用于控制和监控过程和所有组件的专用软件和 HMI 设备
• 内部保护衬垫/防护罩
• 用于电子束蒸发器等的底部法兰
• 设计易于扩展，带有传输系统
• 前开门，便于进入工艺室