波兰PREVAC Electron source ES 40C1离子源
PREVAC Electron source ES 40C1离子源具有小光斑轮廓的可扫描电子源。由于其单透镜的高透射率，PREVAC ES 40C在宽能量范围内提供高电子束电流。PREVAC ES 40C1设计用于AES、扫描应用、成像、EELS和电子脉冲或解吸实验（ESD）等领域的稳定可靠运行。
PREVAC Electron source ES 40C1可扫描离子源技术规格：
| Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
| Energy range | 0 – 5 keV |
| Sample current | up to 100 μA |
| Scan area | 10 mm x 10 mm |
| Shield | Cu or μ-metal |
| Cathode type | thoriated tungsten |
| Insertion length | min. 155.7 mm, (other on request) OD: 33.5 mm (μ-metal), 35 mm (Cu) |
| FWHM | dependent on working distance, min. 120 µm (for distance 56 mm) |
| Working distance | 23 mm – 150 mm (typical 75 mm) |
| Bakeout temperature | up to 250 °C |
| Working pressure | < 5×10-6 mbar |
PREVAC Electron source ES 40C1可扫描离子源特征：
精细聚焦微成形尖端阴极
具有小光斑轮廓的可扫描电子源
入射电子束角度校正（由ES40-PS电源提供）
集成扫描和偏转单元
