波兰 PREVAC Double filament effusion cell EF 40C1DF 双灯丝蒸发源EF 40C1DF

EF 40C1DF双灯丝蒸发源是一个有两个独立操作的长灯丝的源,在蒸发过程中更方便。定制插入长度至少为325毫米(可定制其他长度)。

特性

双灯丝源操作
操作模式:串行、并行、热唇、冷唇
极其稳定的通量率
各种坩埚材料
高度可重复性和可靠性
适用于任何MBE系统
无钼结构(允许高放气温度)
整体水冷
C型热电偶

选项

定制插入长度
有或没有集成手动/电动气动快门
线性移位
坩埚

技术参数

Mounting flangeDN 40CF (rotatable)
HeaterW wire (tungsten)
Temperature range250 °C – 1400 °C
Temperature stability± 0.1°C
Crucible type (option)PBN, Al2O3, Quartz (other materials on request)
Crucibles volume5cc (other volume on request)
Evaporated materialsGroup III-V MBE all typical materials (e.g. Ga, In, Al, Si, Be, Cu, Ag, Au, CaF2)
Thermocouple typetype C
Degassing temp.1450 °C
Water cooling (required)water flow: > 0.5 l/min, temperature: 15 – 30 °C, max pressure: 6 bar
Insertion lengthmin. 115 mm (other on request) OD: 35 mm
Spot sizeDependent on working distance
Working distance100 – 150 mm
Bakeout temperatureup to 250 °C
Working pressure< 10-5 mbar

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