紧凑、易于使用的离子源类型，用于样品表面清洁。该源产生的离子电流大于70μA/cm2（氩气），具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个人要求进行调整（在62.5毫米-384.5毫米之间，其他可根据要求提供）
特性
使用惰性气体（Ar）和反应性气体（O2、H2、寿命缩短的碳氢化合物）进行操作
高离子束电流
寿命长
高稳定性
选项
气体进样系统
定制插入长度
线性移位
技术参数
| Mounting flange | DN 40CF (non-rotatable) |
| Energy range | 0.12 keV – 5 keV |
| Current density | > 120 μA/cm2 (for distance 30 mm) |
| Shield | Cu, stainless steel (for reactive gases) |
| Cathode type | yttrium oxide coated iridium filament |
| Insertion length | min. 62.5 mm, other on request OD: max. 37 mm |
| FWHM | dependent on ion energy and working distance (e.g. 3 mm for distance 30 mm) |
| Typical working distance | 30 – 250 mm |
| Bakeout temperature | up to 250°C |
| Working pressure | 10-5 – 10-6 mbar |
