波兰PREVAC同步加速器分析系统 镜面/光栅系统 2021年11月5日 刘礼鹏 139-1685-4983 (微信同号)真空镜室位于同步加速器光束线。反射镜位于腔室内并安装在隔振特殊支架上,该支架使用多轴机械手移动,以确定光束的正确方向。镜室配备抽气和真空测量系统,带光学元件的镜架可额外配备冷却装置。 UHV特高压多室分析系统 UHV表面科学分析系统 光电子能谱仪 无油真空泵 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系统 真空测控装置 真空腔 离子源 高真空泵