光电子能谱（PES）是一种基于光电效应的实验技术，也是电子能谱学的主要分支。该方法通过电磁辐射激发样品表面，分析所产生光电子的动能分布，从而获取材料表面信息。
PES技术是表面分析与薄层检测中最常用的方法之一，可提供以下信息：定量元素组成、原子化学键合特性以及薄膜层厚度。其基本原理（光电效应）是测量物质受光子照射后释放的光电子。
PREVAC光电子能谱系统专为超高真空环境下的光电子能谱实验设计，具备可控样品温度功能。PREVAC光电子能谱系统适用于各类纳米材料的分析，配备分析室和快速进样室，可实现高效便捷的基片装载。根据泵组配置，结合分析室的标准容积，其真空系统可达到低至10⁻¹¹毫巴的极限真空度。
PREVAC光电子能谱系统是一套针对表面科学分析的标准集成解决方案，适用于XPS/UPS/ARPES/AES/EELS/ISS/IPES/LEIPS等多种谱学技术需求。系统配备全自动化实验流程，支持垂直或水平样品取向，核心分析部件为EA15 UHV半球形能量分析器。
PREVAC光电子能谱系统包含双阳极高功率X射线源（配备单色器的AlKα & AgLα光源，以及非单色化的AlKα & MgKα光源）、紫外光源、电子中和源、用于深度剖析或表面清洁的离子源。样品台采用4-6轴电动或手动机械手，配备低温（液氦/液氮）至高温（最高1400°C）温控样品座，支持10×10 mm至1英寸多种尺寸样品。
分析腔直径310毫米，极限真空度可达10⁻¹¹ mbar（取决于泵组配置）。真空系统由前级泵、涡轮分子泵、离子泵和钛升华泵组成，配备真空计组。样品通过进样腔和快速线性传送系统实现高效传递，系统设有观察窗、烘烤系统、可调节刚性主框架及19英寸电子机柜。
所有分析过程与设备均由Spectrium软件及PLC单元进行全自动控制，实现一体化精准操作。
PREVAC光电子能谱系统分析腔室配备符合超高真空标准的连接法兰，可兼容现有及未来扩展设备，包括：
半球形能量分析仪及其配套设备
双阳极单色化X射线源及电源
双阳极非单色化X射线源及电源
单色化紫外光源及电源
通用紫外光源及电源
电子中和源及电源
电子源及电源
用于深度剖析或清洁的离子源及电源
气体团簇离子源及电源
宽温区样品操纵器（液氦/液氮低温至1400˚C高温）
泵组系统（基于前级泵、涡轮分子泵、离子泵及配备大面积液氮冷阱的钛升华泵）
真空计组及配套设备
线性传输系统接口（如连接进样腔与分析腔的传输通道）
样品托专用进样腔
低能电子衍射仪及其设备
反光电子能谱/低能逆光电子能谱仪及其设备
观察窗视口
残余气体分析仪
注：最终设计与功能取决于系统具体配置。
泵组系统采用前级泵、离子泵、涡轮分子泵或配备大面积液氮冷阱的钛升华泵等多种泵型组合方案，可根据具体应用需求定制选型以实现最优抽气性能。
PREVAC光电子能谱系统采用模块化设计，可通过径向分布传输方案或传输隧道与其他研究平台进行组合集成。
Spectrium分析控制软件支持半球形能量分析仪与各类激发源的协同控制，具备便捷的脚本编写、自动化测量控制和海量数据记录功能，并可基于Tango开源设备框架集成新型扩展组件。
PREVAC光电子能谱系统可选组件：
单色化紫外光源及电源
低能电子衍射仪及配套设备
反光电子能谱/低能逆光电子能谱仪及配套设备
电子源及电源
气体团簇离子源及电源
样品存储腔
径向分布腔或传输隧道
真空样品传输盒（带进样腔接口）
残余气体分析仪
高温红外测温仪
光电子能谱（PES）是一种基于光电效应的实验技术，也是电子能谱学的主要分支。该方法通过电磁辐射激发样品表面，分析所产生光电子的动能分布，从而获取材料表面信息。
PES技术是表面分析与薄层检测中最常用的方法之一，可提供以下信息：定量元素组成、原子化学键合特性以及薄膜层厚度。其基本原理（光电效应）是测量物质受光子照射后释放的光电子。
核心PES分析技术包括：
XPS – X射线光电子能谱
HAXPES – 硬X射线光电子能谱
UPS – 紫外光电子能谱
ARPES – 角分辨光电子能谱
关联辅助技术包括：
IPES – 反光电子能谱
LEIPS – 低能反光电子能谱
AES – 俄歇电子能谱
EELS – 电子能量损失谱
ISS – 离子散射谱
