移动式泵站 MPS
• Pfeiffer HiPace80 涡轮分子泵,用于 N 的抽速为 67 l/s2
• EDWARDS 真空 nXDS6i 涡旋泵前级真空泵(N 级抽速 15.1 m3/h2)
• 真空配件
• 安全阀和排气阀均为电磁式
• VAT 闸阀 DN 63CF 电动气动 – 用于涡轮分子泵
• 用于泵、阀门和压力表控制的 PCU-16 单元
• 莱宝皮拉尼真空计 TTR91N DN 16 KF (5×10-4mbar – ATM) 带电缆
• Leybold PENINGVAC 真空计 PTR DN 40 CF (5×10)-9mbar – ATM) 带电缆
• 手推车 – 带轮子的可移动平台,便于移动工作站
选项
• 残余气体分析仪
• 带软件的笔记本