PLC/HMI 控制
人机界面 （HMI） 设备是作员读取和控制系统或装置的主要参数的主要工具。HMI 显示屏上显示的参数和当前状态分组在单独的屏幕上，对应于 PLC 单元控制的功能。
作为标准配置，HMI 安装在电子机架中，但也可以作为额外的大型触摸屏安装在旋转臂上。为方便起见，HMI 设备可以与系统框架集成，例如就在工艺腔室旁边
应用
HMI设备可以读取和控制例如：
▪真空度、
▪闸阀、
▪开关箱、
▪打开/关闭百叶窗、
▪机械手运动/定位、
▪样品架转移、
▪样品架加热和冷却、
▪气体计量、
▪安全联锁。
