2025年4月28日舒哲鹏13975803053

波兰PREVAC,科学产品,组件,机械手,模块 , XYZ 迷你载物台

XYZ 迷你载物台

具有 X、Y 和 Z 运动的高精度 UHV 试样平移器。

标准安装法兰为 DN 63CF，标准移动法兰为 DN 40CF。所有三个轴都合并在一个微型平台中，以极低的价格提供出色的性能。移动物可以在任何方向工作。

其他信息：

只有 Z 机芯可以电动。

技术数据

基座法兰	DN 63CF 或 DN 100CF
移动法兰	公称通径 40CF
XY 范围	± 12.5 毫米
分辨率	5 微米
Z 范围	75 – 100 毫米
分辨率（手动）	0.5 毫米
烘烤温度	最高 150 °C

 

压缩/延长长度	压缩长度 [mm] 延伸长度 [mm]
Z 范围 [mm]	DN 40/40CF 波纹管 ID39	DN63/40CF 波纹管 ID39	DN100/40CF 波纹管 ID39
75	179 254	179 254	179 254
100	–	179.5 279.5	79.5 279.5

应用

XYZ 迷你机械手的设计易于使用和方便。X 和 Y 机芯的厚度± 12.5 毫米，具体取决于安装的配件。Z 轴移动为 75-250 毫米，具体取决于应用。