积液池 EF 40C1 渗液池 克努森池 无钼结构 用于 MBE 系统

EF 40C1 渗液池克努森池)是一种专为间接电阻加热而设计的源,可提供高度恒定的蒸发速率。定制插入长度 114 – 380 mm(可根据要求提供其他)。

技术规格:

安装法兰DN 40CF(可旋转)
加热器W线(钨)
温度范围EF 1500 °C (~250 °C – 1500 °C, 1600 °C 脱气)
EF 1200 °C (~250 °C – 1200 °C)
温度稳定性± 0.1°C
坩埚类型(可选)PBN, Al2O3、石英(可根据要求提供其他材料)
坩埚容积5毫升
蒸发材料根据坩埚类型的所有典型材料
热电偶类型EF 1500 °C – C 型(标准) EF 1200 °C – K 型(可选)
脱气温度1600 °C
快门类型侧式或翻转式,手动或气动
水冷(必需)水流量:> 0.5 升/分钟,温度:20 – 30 °C,最大压力:6 巴
插入长度最小 114 毫米(其他应要求提供) 外径: 35 毫米
光斑尺寸取决于工作距离
工作距离100 – 150 毫米
烘烤温度最高 250 °C
工作压力< 10-5毫巴

特征:

  • 极其稳定的通量速率
  • 各种坩埚材料
  • 高度可重复且可靠
  • 适用于任何 MBE 系统
  • 无钼结构(允许高释气温度)
  • 一体式水冷

选项:

  • 定制插入长度
  • 带或不带集成手动/电动气动快门
  • 线性移位
  • 坩埚
  • C 或 K 型热电偶

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