光束通量监测器
它通常安装在线性移位/z 平台上，以允许灯丝放置在靠近基材的位置，并在处于待机位置时包括一个保护罩。
读数和完全控制（设备状态、Z 轴偏移）由专用软件应用程序和 Ion Multi Gauge 控制器提供。应用程序可以与 Synthesium 集成 – 高级沉积软件工具。
技术数据
| 安装法兰 | DN 63CF （不可旋转） |
| 测量系统 | Bayard-Alpert 离子真空计 |
| 测量范围 | 10-3至 2×10-11托 |
| 线性行程 | 150 mm （可根据要求提供） |
| 最大外径 | 63 毫米 |
| 灯丝 | 双丝，钇涂层铱 |
| 控制器 | 3 通道 MG15 – 通信接口：RS232/485、以太网、PROFINET（选项 – 订购时指定） |
| 烘烤温度 | 最高 200 °C |
特征
- BEP 测量
- 离子电流测量 [nA 单位]
选项
- 机动化
- 定制插入长度
