紧凑、易于使用的提取器类型,用于样品表面清洁。源产生 >70 μA/cm 的离子电流2(氩气)具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个性化要求进行调整(在 62.5 mm – 384.5 mm 之间,其他可根据要求提供)。
技术规格:
安装法兰 | DN 40CF(不可旋转) |
能量范围 | 0.12 keV – 5 keV |
电流密度 | > 120 μA/cm2(距离 30 mm 时) |
阴极类型 | 氧化钇涂层铱丝 |
插入长度 | 最小 62.5 mm,其他根据要求 外径:最大 37 mm |
FWHM | 取决于离子能量和工作距离 (例如,3 mm 对距离 30 mm) |
典型工作距离 | 30 – 250 毫米 |
烘烤温度 | 最高 250°C |
工作压力 | 10-5– 10-6毫巴 |
特征:
- 使用惰性(Ar)和反应气体(O2, H2,寿命缩短的碳氢化合物)
- 高离子束电流
- 使用寿命长
- 高稳定性
选项:
- 气体计量系统
- 定制插入长度
- 线性移位
离子源电源IS40-PS
高稳定性和低噪音电源,可配置为与IS40C1或IS40E1离子源配合使用。