PREVAC Electron source ES 40C1

波兰PREVAC 离子源 IS 40C1 离子枪 高离子束电流 用于样品表面清洁 具有高斯光束轮廓

 

 

紧凑、易于使用的提取器类型,用于样品表面清洁。源产生 >70 μA/cm 的离子电流2(氩气)具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个性化要求进行调整(在 62.5 mm – 384.5 mm 之间,其他可根据要求提供)。

技术规格:

安装法兰DN 40CF(不可旋转)
能量范围0.12 keV – 5 keV
电流密度> 120 μA/cm2(距离 30 mm 时)
阴极类型氧化钇涂层铱丝
插入长度最小 62.5 mm,其他根据要求
外径:最大 37 mm
FWHM取决于离子能量和工作距离
(例如,3 mm 对距离 30 mm)
典型工作距离30 – 250 毫米
烘烤温度最高 250°C
工作压力10-5– 10-6毫巴

特征:

  • 使用惰性(Ar)和反应气体(O2, H2,寿命缩短的碳氢化合物)
  • 高离子束电流
  • 使用寿命长
  • 高稳定性

选项:

  • 气体计量系统
  • 定制插入长度
  • 线性移位

离子源电源IS40-PS

高稳定性和低噪音电源,可配置为与IS40C1或IS40E1离子源配合使用。


Related posts