线性传输
它们通常用于将样品从负载锁室转移到 UHV 系统主室。线性输送由研究平台泵送系统泵送，或者使用专用泵组进行泵送。传输机构的整个运动范围都是通过旋转运动馈通实现的。传输运动的范围为 450 至 1600 毫米。
有两种类型的线性传输可用：
• 1 轴 – 仅向前移动，
• 2 轴 – 向前移动并围绕运动轴连续旋转。
技术数据
| 移动法兰 | DN 63CF 系列 |
| 最大传输长度 Z | 320 – 1600 mm，取决于腔室长度和样品架类型（可根据要求提供其他） |
| 位置控制 | 手动/电动（可选） |
| 烘烤温度 | 最高 150°C |
传输长度
| 最大传输长度Z [毫米] | 外壳长度 L [mm] |
| 320 | 592 |
| 500 | 772 |
| 750 | 1022 |
| 1000 | 1272 |
| 1250 | 1522 |
| 1500 | 1772 |
| 1600 | 1872 |
选项
- 两个轴都可以电动
- 适用于各种类型样品架的夹具：PTS、旗形、板式（最大 6 英寸）、圆盘式（可根据要求提供其他）
双面解决方案
双面线性传输允许通过线性传输室在两个方向上传输。腔室可以配备额外的端口，用于连接泵等。
传输运动的范围为 500 至 2000 毫米。
