合成
创新的软件工具经过优化，可轻松全面地控制整个沉积过程和系统中的所有组件。
Synthesium 专用于真空沉积系统，包含方便直观的图形用户界面，并允许以两种通用模式作系统：
• 手动控制所有系统元件
• 通过预定义的配方进行自动控制
描述
一般功能：
• 泵、阀门、源、基材等元素的状态由彩色和动画
的图形模块表示 • 可以调整所有系统组件（MFC、阀门、泵、仪表、电源等）的参数。
• 可以创建序列的自动过程，包括循环、子配方（宏）、校准、暂停等等
• 配方可以在 python 脚本
中使用任何进程的新子配方（宏）进行扩展 • 配方可以通过拖放作或从文本文件
加载在配方编辑器 （XManager） 中定义 • 使用 9 个级别中的 1 个（例如工程师、 科学家、作员）
• 过程数据可以存储在基于 MySQL 数据库
的存档器中 • 生成包含所有需要过程信息
的文本协议文件 • 通过 VNC 协议进行远程访问
Synthesium 软件基于 Tango 技术，非常容易使用新硬件进行扩展。所有配方和新的硬件修改都可以使用开源工具或在 python 脚本中完成。
真空沉积系统由工业标准 PC 控制，并安装了 MySQL 数据库，用于所有数据。
Synthesium 可以在系统模拟模式下在单独的 PC 上离线安装和作。当用户想要准备和测试配方时，这非常有用。
