波兰PREVAC,科学产品,组件,机械手,模块 , Z 滑块

舒哲鹏13975803053

Z 滑块

具有 Z 运动的精确 UHV 试样平移器。

可以根据附件的类型选择移动法兰。该转换器适用于垂直或水平安装。Z 滑块大多与 XY 载物台一起使用。将 Z 滑块与 XY 载物台组合后，我们得到具有三个自由度的 XYZ 载物台。Z 滑块也可以根据需要安装步进电机。

Z 滑轨的设计易于使用和方便。这些转换器提供的线性行程比线性偏移更大。

技术数据

标准底座法兰DN 40CF、DN 63CF 或 DN 100CF
标准行走法兰DN 40CF、DN 63CF 或 DN 100CF
Z 范围75 – 800 mm （标准，可根据要求提供其他）
Z 轴运动控制手轮 / 步进电机 （可选）
分辨率（手动/电动）500 μm / 标准 10 μm（可根据要求提供 1 μm）
烘烤温度最高 150 °C

长度

Z 范围
[mm]		波纹管 ID39波纹管 ID65波纹管 ID102
公称型号 40/40CFDN63/40CF
DN100/40CF 系列		DN63/63CF 型DN100/63CF 型DN100/100CF 型
75142 / 217148.5 / 223.5211 / 286
100142 / 242148.5 / 248.5211 / 311
150142 / 292148.5 / 298.5211 / 361
200142 / 342148.5 / 348.5211 / 411
250142 / 392148.5 / 398.5211 / 461
300142 / 442148.5 / 448.5211 / 511
350207 / 557213.5 / 563.5211 / 561
400207 / 607213.5 / 613.5211 / 611
450207 / 657213.5 / 663.5211 / 661
500207 / 707213.5 / 713.5211 / 711
600272 / 872278.5 / 878.5276 / 876
700272 / 972278.5 / 978.5276 / 976
800272 / 1072278.5 / 1078.5276 / 1076

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