线性位移
UHV 传输机构由一对法兰制成,由边缘焊接波纹管连接。
自由法兰以受控、精确的运动向固定法兰移动,同时保持平行度。它的动作类似于 Z 滑块纵器,但行程长度和整体定位分辨率略有减少。标准安装法兰为 DN 40CF 或 DN 63CF。该换档由手轮驱动,可以在任何方向工作。
线性位移专为仪器的线性运动而设计,运动中的倾斜或摆动最小,在抽空前后保持精确对准
技术数据
基座法兰 | DN 40CF 或 DN 63CF |
移动法兰 | 公称通径 40CF |
Z 范围 | 150 mm 的 25、50、75、100 |
波纹管 ID | 38.5 毫米 |
位置控制 | 手轮 / 机动 (可选) |
分辨率 | 1 毫米 |
重复性 | 1 毫米 |
倾斜范围(用于带倾斜的 LS) | ± 4° |
烘烤温度 | 最高 150 °C |
长度
压缩长度 [mm] 延伸长度 [mm] | |||||||
Z 范围 [mm] | 标准 | 高稳定性 | 带倾斜 | ||||
公称型号 40/40CF | 公称型号 DN 63/40CF | DN 40/40CF 双导向波纹管 | 公称型号 40/40CF | DN 63/40 CF | 公称型号 40/40CF | 公称型号 DN 63/40CF | |
25 | 45 70 | 47,5 72,5 | – – | – – | 47,5 72,5 | – – | – – |
50 | 51 101 | 55 105 | – – | – – | 60.7 110.7 | – – | – – |
75 | 53 128 | 60 135 | – – | 54.3 129.3 | – – | 65 140 | – – |
100 | 65 165 | 69 169 | – – | 65 165 | 69 169 元 | 66 166 | 55 157 |
150 | – – | – – | 80 230 | – – | – – | – – | – – |
应用
线性移位用于不需要其他线性运动设备更高精度和渐变运动的应用。它们通常用于: