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线性位移

UHV 传输机构由一对法兰制成,由边缘焊接波纹管连接。

自由法兰以受控、精确的运动向固定法兰移动,同时保持平行度。它的动作类似于 Z 滑块纵器,但行程长度和整体定位分辨率略有减少。标准安装法兰为 DN 40CF 或 DN 63CF。该换档由手轮驱动,可以在任何方向工作。

线性位移专为仪器的线性运动而设计,运动中的倾斜或摆动最小,在抽空前后保持精确对准

技术数据

基座法兰DN 40CF 或 DN 63CF
移动法兰公称通径 40CF
Z 范围150 mm 的 25、50、75、100
波纹管 ID38.5 毫米
位置控制手轮 / 机动 (可选)
分辨率1 毫米
重复性1 毫米
倾斜范围(用于带倾斜的 LS)± 4°
烘烤温度最高 150 °C

长度

压缩长度 [mm]
延伸长度 [mm]
Z 范围 [mm]标准高稳定性带倾斜
公称型号 40/40CF公称型号 DN 63/40CFDN 40/40CF
双导向波纹管
公称型号 40/40CFDN 63/40 CF公称型号 40/40CF公称型号 DN 63/40CF
2545
70
47,5
72,5


47,5
72,5


5051
101
55
105


60.7
110.7


7553
128
60
135

54.3
129.3

65
140

10065
165
69
169

65
165
69
169 元
66
166
55
157
150

80
230




应用

线性移位用于不需要其他线性运动设备更高精度和渐变运动的应用。它们通常用于:

  • 表面科学工具相对于样品位置的作,
  • 蒸发和溅射源的纵,
  • 电子X 射线源的纵,
  • 纵石英振荡器,
  • 样品转移应用程序。

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