波兰PREVAC,科学产品,组件,机械手,模块 , 差动泵浦旋转馈入件

差动泵浦旋转馈入件

通过 UHV 系统的真空壁提供 360° 连续旋转自由度

馈入件具有两级差动泵送,由特殊密封表面上的石墨浸渍膨胀氟橡胶密封件隔离。预加载的滚珠轴承组可精确控制旋转平台位置。馈入装置配有蜗杆传动装置,可提供精细的角度调整。它们可配备消隙步进电机。
提供不同的电机或电机控制系统(步进电机、伺服电机、IcePAP)。

技术数据

基座法兰型号 DN 40CF, DN 63CF, DN 100CF, DN 160CF
R1 旋转控制手轮 / 步进电机 (可选)
分辨率(手动/电动/外部光学编码器)1° / 0.1° / 0.05°
烘烤温度最高 150 °C

法兰
之间的直径和距离

基座法兰内径 [mm]距离 L [mm]
公称通径 40CF4135.2
DN 63CF 系列6648
公称通径 100CF10347
DN160CF153.144

应用

差动泵浦旋转馈入装置可以与机械手和任何其他精密定位设备结合使用。


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