4-6 轴 LHe 机械手（开式循环）
光谱 UHV 机械手具有加热和 LHe 冷却（开式循环）的可能性。
它是一款高精度、高刚性的 UHV 试样机械手，采用模块化结构，适用于一系列 X、Y、Z 线性运动和 R1、R2、R3 旋转。模块化结构意味着可以通过添加或更换定义明确的模块来升级或修改规范。
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 压力范围 | 减少到 10 个-11毫巴 |
| 加热方法 | 电阻式， EB， 直接 |
| 冷却方式 | LHe |
| XY 范围 | ± 9 mm – 用于 DN 100CF ± 12.5 mm – 用于 DN 160CF 底座法兰 |
| 位置控制 | 千分尺/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范围 | 最大 600 毫米 |
| 位置控制 | 手轮/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 1 mm / 标准 10 μm（可根据要求提供 1 μm） |
| R1 范围 | ± 180° 或 ± 360° |
| 位置控制 | 旋转馈入装置/电动* |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| R2 范围 | 360° 连续 |
| 位置控制 | 机动* |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| R3 范围 | – 20° 至 +40° |
| 位置控制 | 旋转馈入装置/电动* |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
机械手可以根据要求为客户的电机或驱动器做好准备。
选项
加热/冷却
样品温度取决于样品架类型：
- 用 10 A 直接加热，
- 电阻加热至 1100 °C，
- EB 加热至 1400°，
- 液氦冷却：
– 4 轴机械手 – 低至 4 K*
– 5 轴机械手 – 低至 4.8 K* / 10 K**
– 6 轴机械手 – 低至 7 K* / 15 K**
* 无加热选项和温度稳定时达到的参数
** 有加热选项时达到的参数
