4-5 轴 LN2机器人
4-5* 轴 LN2具有 X、Y、Z、R1 和 R2 轴的机械手是一种模块化结构的高精度、高刚性、UHV 样品机械手，可以使用液氮冷却和加热。
模块化结构意味着可以通过添加或更换定义明确的模块来升级或修改规范。机械手的所有轴都由步进电机或伺服电机驱动。X、Y 和 Z 轴也可以根据需要手动作。标准安装法兰为 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5 轴机械手是 XY 平台、Z 滑块和旋转平台的组合。
* 可根据要求提供用于 PTS 样品架的 6 轴机械手。
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 压力范围 | 减少到 10 个-11毫巴 |
| 加热方法 | 电阻式， EB， 直接 |
| 冷却方式 | 在2 |
| XY 范围 | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范围 | 75 – 800 mm （可根据要求提供） |
| 位置控制 | 手轮/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 50 μm / 标准 10 μm（可根据要求提供 1 μm） |
| R1 范围 | ± 180° |
| 位置控制 | 旋转馈入装置/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 1°/0.1° |
| R2 范围 | 360° 连续 / ±90° |
| 位置控制 | 机动 |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
机械手可以根据要求为客户的电机或驱动器做好准备。
选项
- 全机动化
- 完全软件控制
- 温度稳定
- 加热选项：直接加热、电阻加热或 EB 加热
- 适用于反应气体的加热器（电阻加热）
其他信息
多轴机械手配置有一个样品接收站，可以接受 PTS 系列样品架之一。该工作站配有 6 个电触点（2 个 K、C 或 E 型热电偶;2 个高达 1000 V 的样品偏压，2 个高达 20 A 的加热电流）和用于液氮冷却的蓝宝石球冷却触点。
机械手包括所有必要的电气、气体和机械馈入装置，以及用于 XY、Z、R1 和 R2 轴的步进电机和步进电机驱动器。
