4-5 轴 LN2旗形样品架
带 LN 的机械手2旗形样品架的冷却功能在样品架数量、各种加热方法和许多有用的选项方面为工作站开发提供了多种可能性。这与各种不同的旗架类型相结合，使该机械手站非常通用。
模块化结构意味着可以通过添加或更换定义明确的模块来升级或修改规范。机械手的所有轴都由步进电机或伺服电机驱动。X、Y 和 Z 轴也可以根据需要手动作。标准安装法兰为 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5* 轴机械手是 XY 平台、Z 滑块和旋转平台的组合。
* 可根据要求提供用于 PTS 样品架的 6 轴机械手。
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 压力范围 | 减少到 10 个-11毫巴 |
| 加热方法 | 电阻式， EB， 直接 |
| 冷却方式 | 在2 |
| XY 范围 | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范围 | 75 – 800 mm （可根据要求提供） |
| 位置控制 | 手轮/电动* |
| 分辨率（手动/电动） | 500 μm / 标准 10 μm（可根据要求提供 1 μm） |
| R1 范围 | ± 175° |
| 位置控制 | 旋转馈入装置/电动* |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| R2 范围 | 360° 连续 / ±90° |
| 位置控制 | 机动 |
| 分辨率（电动） | 0.1° |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
机械手可以根据要求为客户的电机或驱动器准备。
选项
- 全机动化
- 完全软件控制
- 温度稳定
- 加热选项：直接加热、电阻加热或 EB 加热
- 适用于反应气体的加热器（电阻加热）
