1-3 轴机械手
根据客户的确切个性化需求，我们可以设计和提供各种定制的 UHV 机械手。纵器可以在三个正交轴 XYZ 中的任何一个上移动样品。使用附加的旋转装置，可以实现围绕 R1、R2 或 R3 轴的额外旋转运动。为了实现最高的定位精度、分辨率和可重复性，XYZ 机械手和旋转驱动运动可以电动化。纵器可以在任何方向上工作。
加热/冷却
每个机械手都有一个用于 PTS 或 Flag 型样品架的样品接收台。根据要求，可以使用直流电或 EB 方法对样品进行电阻加热。可以通过低温恒温器进行冷却，液氮 LN 流经低温恒温器2或液氦 LHe。
