波兰PREVAC,科学产品,沉积用电子元件,厚度检测器

厚度监测器 TM13 & TM14

TM13 和 TM14 设备包括:石英振荡器、频率测量系统和通信接口。

描述

它连接到石英谐振器的输入元件。测量结果通过 RS232 传输到主设备:PC 或 TMC13 控制器。通过 TMC13 控制器或 PC 进行远程控制。专用于精确速率测量的可用软件。记录石英谐振器频率随时间的变化(以图形的形式)。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发速率。适用于 MBE 等应用。

特征

TM13

  • 频率分辨率:0.1 Hz
  • 每秒测量次数:4(固定)
  • 石英振荡器的最大频率:6 MHz
  • 稳定性:0.5 ppm

TM14

  • 频率分辨率:0.01 Hz
  • 每秒测量次数:0.5、1、2、4、10(可选)
  • 石英振荡器的最大频率:6 MHz
  • 稳定性:0.5 ppm

技术数据

电源5V 直流
电流消耗最大 500 mA
TM13TM14
厚度分辨率0.1 Å0,01 Å
速率分辨率0.1 Å/秒0.01 Å/秒
频率分辨率0.1 赫兹0.01 赫兹
频率稳定性0.5 页/分钟0.5 页/分钟
每秒测量次数40.5;1;2;4;10
(可选)
通信接口RS232 接口
尺寸 [mm]80.0 x 50.0 x 27.0 毫米(宽 x 高 x 深)
重量(大约)0.1 千克

选项

  • 通信接口 RS485(订货时指定)

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