厚度监测器 TM13 & TM14
TM13 和 TM14 设备包括:石英振荡器、频率测量系统和通信接口。
描述
它连接到石英谐振器的输入元件。测量结果通过 RS232 传输到主设备:PC 或 TMC13 控制器。通过 TMC13 控制器或 PC 进行远程控制。专用于精确速率测量的可用软件。记录石英谐振器频率随时间的变化(以图形的形式)。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发速率。适用于 MBE 等应用。
特征
TM13
- 频率分辨率:0.1 Hz
- 每秒测量次数:4(固定)
- 石英振荡器的最大频率:6 MHz
- 稳定性:0.5 ppm
TM14
- 频率分辨率:0.01 Hz
- 每秒测量次数:0.5、1、2、4、10(可选)
- 石英振荡器的最大频率:6 MHz
- 稳定性:0.5 ppm
技术数据
电源 | 5V 直流 | |
电流消耗 | 最大 500 mA | |
TM13 | TM14 | |
厚度分辨率 | 0.1 Å | 0,01 Å |
速率分辨率 | 0.1 Å/秒 | 0.01 Å/秒 |
频率分辨率 | 0.1 赫兹 | 0.01 赫兹 |
频率稳定性 | 0.5 页/分钟 | 0.5 页/分钟 |
每秒测量次数 | 4 | 0.5;1;2;4;10 (可选) |
通信接口 | RS232 接口 | |
尺寸 [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 毫米(宽 x 高 x 深) | |
重量(大约) | 0.1 千克 |
选项
- 通信接口 RS485(订货时指定)