石英天平 QO 40A1
可以监测蒸发和溅射镀膜的厚度。传感器头是一个水冷式非磁性外壳，永久位于真空系统中。晶面与水冷馈通管平行。石英天平 QO 40A1 安装在 DN 40CF 法兰上，带有两根 Ø6 管和 Microdot S-50 同轴连接器。定制插入长度 130 – 500 mm（可根据要求提供其他插入长度）。
技术数据
| 安装法兰 | DN 40CF （可旋转） |
| 最高工作温度 | 最高 300°C（水冷） |
| 水冷 （必需） | 水流量 > 0.5 升/分钟 温度：20 – 30 °C 最大压力：6 巴 |
| 晶体频率 | 4.8 – 6 MHz，直径 14 mm（行业标准） |
| 插入长度 | 取决于腔室的规格和几何形状 |
| 烘烤温度 | 最高 150 °C |
特征
- 水碰撞传感器头
- 易于更换的石英
选项
- 定制插入长度
- 带或不带内置手动/电动气动快门不同的安装法兰（例如 DN 40 KF）
- 可根据要求提供其他石英天平几何形状（例如垂直头部几何形状）
- 线性偏移
