先进的 PES 系统
用于光电子能谱实验的先进多室 PREVAC 高级 PES 系统，旨在与其他表面科学技术、辅助实验室设备和任何附件实现最大兼容性。
多功能的模块化设计使得平台易于扩展和与任何其他分析、沉积或制备HV/UHV单元的集成，例如通过径向分配或隧道转移系统进行连接。
泵送系统与分析室的标准容积相结合 ，可以达到极限压力，其中极限压力降至 10-11 mbar，具体取决于泵的配置。
特征
- 为 XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS 技术领域的研究需求提供定制、广泛的解决方案
- 多腔室自动化工艺
- 实验程序的完全自动化
- 垂直或水平样品方向
- 半球形能量分析仪 EA15 UHV 及设备
- 高功率双阳极 X 射线源，带光栅 – AlKα & AgLα，带电源
- 高功率双阳极，非单色X射线源 – AlKα和MgKα，带电源
- 带电源的 UV 源
- 带电源的泛洪源
- 用于深度剖析或清洁的离子源
- 电动或手动 4-6 轴机械手，带接收站能够实现从LHe/LN 系列2可承受高达 1400°C 的高温
- 不同的样品架尺寸：从 10×10 mm 到 1 英寸
- 分析室直径 450 毫米
- 极限压力降至 10-11mbar，具体取决于泵的配置
- 泵系统（基于备用泵、TMP、离子泵和 TSP）
- 带设备的真空计
- 样品架的 Load Lock 室
- 可靠、快速的线性传输系统，从负载锁到分析室
- Viewports – 观察窗口
- Bakeout 系统
- 系统的可调节刚性主机架
- 带电子单元的 19 英寸机柜
- 由 Spectrium 软件和 PLC 单元完全控制的分析过程和设备
描述
分析室配有 UHV 标准的连接法兰，用于连接当前和未来的设备，包括：
- 带设备的半球形能量分析仪 /
- 带电源的 X 射线双阳极单色源，
- 带电源的 X 射线双阳极非单色源，
- 带电源的 UV 单色光源，
- 带电源的紫外线源，
- 带电源的泛洪源，
- 带电源的电子源，
- 带电源的离子源，用于深度剖析或清洁，
- 带电源的气簇离子源，
- 样品调节器具有较宽的温度范围（从 LHe/LN2高达 1400°C）、
- 泵组（基于备用泵、TMP、离子泵和TSP，具有大面积LN2裹尸布）、
- 带设备的真空计，
- 用于线性传输系统的入口，例如从负载锁到分析室，
- 样品架的 Load Lock 室，
- LEED 设备，
- IPES / LEIPS 设备，
- viewports – 观察窗口，
- 残余气体分析仪。
该系统的模块化设计允许通过径向分布传输解决方案或传输隧道与任何其他研究平台进行组合和集成。 最终设计和功能取决于系统配置。
泵送系统是不同类型泵的组合，例如前级真空泵、离子泵、涡轮泵或具有大面积 LN 的钛升华泵2护罩，根据特定应用需求单独选择，以实现最佳泵送性能。
Spectrium 分析控制软件允许半球形能量分析仪和各种类型的源集成和完美协作，从而实现轻松的配方编写、自动测量控制和广泛的数据记录。允许基于 Tango 开源设备集成新的附加组件。
选项
- 带电源的 UV 单色光源
- LEED 设备
- 带设备的 IPES / LEIPS
- 带电源的电子源
- 带电源的气体簇离子源
- 储藏室
- 径向分布室或传输隧道
- 真空手提箱（运输箱），在负载锁室
中带端口 - 残余气体分析仪
- 高温计
技术
光电子能谱 （PES） 是一种实验技术，也是电子能谱的主要变体。该方法基于光电现象和对光电子动能分布的分析。发射的能量是表面样品受到电磁辐射激发的结果。
PES 技术是最常用的表面测试和薄层检查方法。它提供的信息包括：定量组成、原子键特性、层厚。基本过程（光效应）测量光子照射物质后产生的光电子发射。
包括分析 PES 技术：
- XPS – X 射线光电子能谱
- HAXPES – 硬 X 射线光谱
- UPS – 紫外光电子能谱
- ARPES – 角度分辨光电子能谱
其他技术：
- IPES – 逆光电子发光光谱
- LEIPS – 低能量逆光电子能谱
- AES – 俄歇电子能谱
- EELS – 电子能量损失谱
- ISS – 离子散射光谱
